이번에는  MEMS센서의 Industrial편입니다. Murata의 MEMS센서에 대해서 알아볼까요? : ) MEMS는 제작 공정 기술 이름입니다. 한국말로 풀어서 얘기하면 “소형 전자 기계 장치”이라는 뜻입니다.  즉, MEMS Sensor라는 것은 전기적인 특성과 기계적인 특성을 둘 다 가진 전자식 Sensor를 의미합니다. MEMS 기술을 이용해서 만들어지는 센서는 작게는 마이크로미터(μm)에서 크게는 밀리미터(mm) 정도로 크기가 매우 작기 때문에 반도체 공정기술을 응용해야 하며 주로 자동차, 스마트폰, 산업용기계, 헬스케어 등 다양한 분야에 사용됩니다.   MEMS Sensor는 여러가지 방식이 있는데 무라타는 정전용량식 방식을 사용하고 있습니다. Sensor 내부에 매스가 있습니다. 매스를 통..